SEMulator3D是一个 3D 软件平台，能够对用于最先进的集成电路和 MEMS 技术的先进半导体制造工艺进行建模。该软件能够对最先进的半导体技术节点中的真实几何形状进行建模，并提供视觉和定量输出来回答最复杂的技术问题。与标准 TCAD 不同，SEMulator3D 可以在显着减少运行时间的情况下对大型布局区域进行建模，并提供统计过程变化影响。SEMulator3D 使用强大的、基于体素的建模引擎来创建规则间隔的三维网格。体素尺寸（网格间距）是用户定义的参数，用于设置模型的空间分辨率——体素尺寸越小，空间分辨率越高。生成的 3D 模型在 SEMulator3D Viewer 中可视化，它为用户提供了不仅可以查看基于复杂 3D 体素的结构的功能，还可以旋转结构、切换材料透明度、创建各种横截面视图结构、创建动画并对结构进行精确测量。
安装激活教程
1、在本站下载并解压
2、安装程序，运行SEMulator3D_8.000.exe安装软件，勾选我接受许可证协议条款
3、安装位置，默认为C:\Coventor\SEMulator3D8\（此处修改以下同）。
4、安装完成，将patcher.exe放到安装目录C:\Coventor\SEMulator3D8\bin\NT40_x64\运行，等待完成即可
5、将license.lic放到C:\Coventor\SEMulator3D8\bin\目录下，运行SEMulator3D 8，提示需要license，输入C:\Coventor\SEMulator3D7\bin\license.lic。
8.0新功能
1、电阻和电容求解器已更新，计算时间显着加快
2、布局引脚可用于在Name Ports步骤中指定新端口的位置
3、网表提取现在包括更高的细分电阻精度、更快的计算时间，以及针对第三方SPICE和CDL文件进行验证的新步骤
4、“分析”选项卡中称为“流程窗口优化”的新工作流程提供了一种简化的方法来理解和改进流程窗口以最大化inSpec%
5、Expeditor包括一个选项，用于检测对外部文件的修改并从修改点触发部分重建，从而在添加和调整计量输入时无需完全重建
6、器件仿真步骤包括进行小信号交流分析和晶体管漏电流建模的新功能
7、3D查看器提供了新的图例功能，用于查看材料信息并限制横截面视图中显示的范围
8、新的API可用于3D查看器，允许通过命令行更新位置和方向、横截面视图的自动导出和注释等控件
9、新的Python脚本可用于将JSON格式的第三方流程直接转换为SEMulator3D流程步骤
10、上下文相关的帮助链接现在在分析选项卡中提供，以及从步骤属性窗格中获取过程和分析步骤，这将打开SEMulator3D用户手册中的相关内容
使用帮助
1、SEMulator3D工作流程
典型用户通过SEMulator3D界面前进，如下所述。以下部分提供了如何执行每个步骤的说明。
在Windows或Linux中打开SEMulator3D。默认情况下会显示Manager、Process Editor和Material Library选项卡，其中Manager选项卡处于选中状态。
在Manager选项卡中创建一个.zam文件。 创建一个。过程编辑器选项卡上的vproc文件，并添加为所需过程建模的过程步骤。
使用布局编辑器创建2D布局。
指定模型分辨率。
您可以选择在每个步骤后保存模型，并在构建完成后自动启动3D查看器。
管理器选项卡将如下所示：
单击模型窗格底部的构建以构建模型。
模型构建器窗口将显示建模构建的进度。3D模型完成后，SEMulator3D Viewer将自动打开以显示最终几何图形。
管理器、流程编辑器和材料库（例如上面显示的模型属性窗口）等选项卡内的窗格可以从主窗口中取消停靠并重新排列。单击部分右上角的按钮以取消停靠。
在Windows计算机上，双击选项卡的顶部栏以重新停靠它们。在Linux机器上，按相同的停靠按钮重新停靠。
2、打开管理器
要在Windows上打开管理器，请打开SEMulator3D：转到开始>所有程序>Coventor SEMulator3D 8>SEMulator3D。软件打开时默认选择“管理器”选项卡。
要在Linux中打开管理器，请从shell窗口中，cd到INSTALLDIR/SEMulator3D8/bin/linux_x64并键入
./SEMulator3D
SEMulator3D已打开，默认选择Manager选项卡
3、流程编辑器简介
Process Editor允许用户创建一个流程来模拟将制造IC或MEMS设计的铸造工艺。用户指定一系列建模操作，以及适当的材料、层名称、掩模名称、厚度或蚀刻深度、光刻胶等。然后，此过程信息可用于构建3D模型或输出Python脚本（有关详细信息，请参阅管理器菜单和图标页面中的导出脚本）。
在SEMulator3D 5.0之前的版本（2014.2及更早版本）中创建的进程(.vproc)文件无法在7.0及更高版本中打开。要使用在这些早期版本中创建的.vproc文件，请在SEMulator3D版本6.102或更早版本中打开它们。
流程编辑器非常宽容。它不会拒绝不切实际或违反代工厂规范的数据。
要打开Process Editor，请单击SEMulator3D中的Process Editor选项卡。该选项卡在SEMulator3D打开时默认启动，但可以通过单击Window>Process Editor隐藏或显示。
组件
流程编辑器有五个组件：流程库、流程步骤列表、步骤属性、注释窗格和变量窗格。
访问文件
可用的工艺步骤
Process Editor的Process Library窗格中可用的流程步骤由与流程关联的Process Library文件确定。如果工艺文件是新的，可用的工艺步骤由在工具>选项对话框中设置的默认工艺库确定；有关更多详细信息，请参阅流程编辑器的菜单和工具栏页面的选项部分。
打开文件
除了保存文件，用户还可以打开现有进程：
要在打开当前文件的同时创建新进程，请选择File>New。
要在保持当前文件打开的同时打开另一个文件，请选择文件>打开。
要打开最近使用的文件，请选择文件>打开最近使用的文件。
4、过程库简介
流程库模块允许用户创建流程步骤的自定义库，可以针对特定用途进行定制并添加到流程编辑器中。使用此模块，用户可以复制和重命名流程步骤，并自定义每个流程步骤的默认属性值。
要访问过程库，请单击SEMulator3D中的过程库选项卡。通过单击Window>Process Library可以隐藏或查看该选项卡。指定的流程库确定流程编辑器的流程库窗格的内容，即，步骤必须在流程库中才能在流程编辑器中可用。
访问过程库
过程库窗格
Process Library选项卡包括几个窗格。
步骤原语库
Step Primitives Library窗格是可用于添加到Process Library窗格的原型的只读列表。该库包含SEMulator3D中当前可用的所有过程建模原型。您可以从此处将步骤添加到“流程库”选项卡中的“流程库”窗格。
过程库
流程库窗格仅包括用户添加的流程步骤。此窗格的内容定义了Process Editor选项卡中Process Library窗格的内容。
要添加项目，请执行以下操作之一：
右键单击Process Library选项卡的Process Library窗格，然后选择Add，然后选择与要添加到库中的步骤相对应的子菜单项。
将原型从Step Primitives Library窗格拖放到Process Library窗格中。
使用菜单栏中的添加图标ProcessLibrary00002.jpg。
要从Process Library中删除一个项目（请注意，这不会从Step Primitives窗格中删除该步骤），请执行以下任一操作：
右键单击Process Library窗格中的项目，然后选择Delete。
选择项目，然后按Delete键。
要重命名项目，请从项目的属性中，在步骤名称字段中输入新名称。
请注意，项目名称中只允许有一个空格。名称不能以数字开头。
要重新排序过程库中的项目，请将组件拖动到所需位置。
如图5-1所示的示例库所示，可以将同一原型的多个实例添加到Process Library窗格中，然后可以对每个实例进行自定义和重命名。例如，上面的Etch序列中有三个Etch原型。每个都经过定制以代表特定的蚀刻类型。原型是通过在属性窗格中设置其值来定制的，如下所述。
特性
选择流程库项目后，“名称”窗格将显示该项目的属性。可用的属性由所选的流程步骤类型决定。这些属性与在流程编辑器中为此步骤类型显示的属性完全相同。用户可以输入这些属性的值，这将成为放置在流程编辑器中的任何相同类型的流程步骤的默认值。
在下面显示的示例中，将存款原型添加到流程库中。然后它被选中，其属性出现在中央窗格中。
通过将其厚度定义为5，将其存款类型定义为Conformal来自定义该步骤，并为其赋予一个唯一的名称。在工艺编辑器中，当将此步骤添加到工艺中时，它会自动定义为厚度为5的保形沉积。
自定义存款步骤
创建过程库
您可以创建多个进程库，将其保存为.vlib文件。要创建新的流程库，请选择文件>新建或单击新建文件图标inset_0.jpg。Process Library选项卡如下所示。请注意，新库文件中的Process Library窗格是空的。
创建新的流程库
定义默认过程库
要为任何新流程定义默认流程库，请选择工具>选项。在对话框的SEMulator3D选项卡中，使用Default Process Library文件字段中的Browser图标选择所需的.vlib文件。将来会为新的模型流程自动加载选定的库。
文件和序列锁定
文件和序列锁定允许您在信息访问受到限制的组织内共享过程和分析文件。它使您能够对特定用户或组隐藏信息，并促进在受限环境中进行更广泛的部署和共享。
有关文件和序列锁定的讨论，请参阅文件加密和序列锁定。
变量
即使已在材料库、过程编辑器或分析编辑器中定义和显示变量名称，输入过程库原始步骤的变量名称也可能显示为红色。但是，它们仍然可以在流程库中使用，并且在构建模型时可以正常工作。