标签：S-Litho

2024-07-22nuanfeng阅读(24)评论(0)赞(0)

Synopsys S-Litho是功能齐全的光刻预测建模软件！对所有有需要的用户都提供行完整的行业标准，可更好地开发和优化半导体工艺，提供先进的技术，准确的分析曝光工具，无缝集成技术更好的模拟功能和优势，提供自动化优势以及完整的验证流程，精...

2024-07-19nuanfeng阅读(23)评论(0)赞(0)

S-Litho是光刻过程的预测建模解决方案，它代表了光刻模拟的行业标准，用于先进存储器和逻辑应用中的半导体工艺开发和优化。它涵盖了广泛的图案化技术，如邻近印刷、深紫外（DUV）、极紫外（EUV）和电子束（e-beam）光刻。考虑到掩模和基板...